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    蝕刻晶圓模板主要用于在晶圓表面精確地制造微納結構。它通過蝕刻技術,在模板材料上形成特定的圖案,這些圖案可以是集成電路中的各種電路元件,如晶體管、電容器等的布局形狀。在制造過程中,利用光刻膠等材料將模板上的圖案轉移到晶圓表面,然后通過蝕刻工藝將晶圓上不需要的材料去除,從而得到與模板圖案相對應的微觀結構。[更多]

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